1總 則 1.0.1為使電子工廠化學品供應系統、化學品回收系統及其配套裝置的工程設計、施工及驗收,貫徹國家工程建設的政策方針,確保工程安全可靠、節約能源、保護環境、技術先進、經濟適用,制定本規范。 1.0.2 本規范適用于電子產業中的集成電路、平板顯示器件和太陽能電池等電子工業生產工藝中化學品供應系統、化學品回收系統的新建、改建、擴建工程的設計、施工及驗收。
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