微電子生產(chǎn)設備安裝工程施工及驗收規(guī)范GB 50467-2008
【發(fā)布單位】住房和城鄉(xiāng)建設部 國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗檢疫總局
【發(fā)布日期】2008-12-15
【實施日期】2009-07-01
【標準狀態(tài)】現(xiàn)行
【文件大小】未知
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1 總則【發(fā)布日期】2008-12-15
【實施日期】2009-07-01
【標準狀態(tài)】現(xiàn)行
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[預覽]1.0.1 為規(guī)范微電子生產(chǎn)設備安裝工程施工，確保微電子生產(chǎn)設備安裝質(zhì)量和可靠運行，促進微電子生產(chǎn)設備安裝技術的發(fā)展，制定本規(guī)范。
1.0.2 本規(guī)范適用于集成電路、半導體分立器件生產(chǎn)設備安裝工程的施工及驗收。本規(guī)范不包括集成電路及半導體分立器件生產(chǎn)設備聯(lián)動調(diào)試及生產(chǎn)。