[一]氟甲烷平衡貯罐
　　1．使用氯氣瓶應防止曝曬，防止靠近熱源。減壓閥應定期校驗，氯氣瓶應在定檢周期內使用。瓶體不應裝設易熔塞及泄壓裝置。
　　2．當罐上氯甲烷表壓降壓至0．1兆帕以下時，方可通知氯甲烷工段給料，每次給氯甲烷(液相)不得超過300千克。
　　3．氯甲烷平衡罐內壓力不準超過0.4兆帕，并需有專人看管。
　　4．罐夾套內通入蒸氣時，罐內壓力不準超過0．4兆帕。
　　5．停止加熱時，必須將總蒸氣閥門關閉。
　　6．平衡罐至少半年應清理—次，并按規定進行定期檢查。

　　　　　　　　[二]氮甲烷干燥罐
　　1．每四個周期定期取樣測定硫酸罐內酸的濃度，當酸的濃度降至98％以下時應更換。
　　2．更換磷酸時要戴好防酸用品，并按操作規定進行操作。
　　3．各閥門應嚴密，開啟時準確無誤，防止負壓產生，逆止閥要靈活可靠。

　　　　　　　　[三]甲基合成爐
　　1．開爐前要檢查設備各部位是否符合安全要求。
　　2．開爐時應及時開肩冷卻水和大氣閥門，停爐時，應及時關閉，爐內壓力不準超過0．02兆帕。
　　3．還原反應時應注意合成爐的溫度和壓力變化，出現異常及時排除。

　　　　　　　　[四]過濾器
　　1．必須保持過濾器暢通。
　　2．壓力不超過0.02兆帕。
　　3．每一生產周期后必須檢修設備。

　　　　　　　　[五]粗單晶體貯罐
　　1．檢查貯罐閥門、液面計閥門、大氣閥門是否符合安全要求。
　　2．壓料時應關閉大氣閥門、液面計閥門，開啟出料管閥門，并及時分餾接收。
　　3．壓料時通二氧化碳的壓力不準超過0．2兆帕，壓料必須由2人同時操作。