主要危險危害因素分析

　　1、物質的危險危害

　　芯片生產過程中，使用多種化學物品，廠區內設有儲存這些化學物品的化學品庫，化學品種類達80種。按照GB13690-92《常用危險化學品的分類及標志》規定中對常用危險化學品，按其主要危險特性進行分類，該項目中使用的危險化學品有壓縮氣體和液化氣體，易燃液體、氧化劑、有毒品、腐蝕品等類別，這些物質的主要危險危害為：

　　1）有毒有害氣體（如AsH3、PH3、SiH4、CO等）如泄漏與空氣混合遇明火易燃爆，有的可在空氣中自燃，有的可致人中毒、凍傷、窒息、直至死亡。

　　2）易燃液體（如丙酮、異丙醇等）如泄漏、揮發與空氣混合形成爆炸氣體遇明火、熱源可引發火災爆炸。

　　3）氧化劑（如過氧化氫等）如泄漏與有機物還原劑、易燃物接觸可引起火災爆炸。

　　4）腐蝕品（如酸類、堿類等）如泄漏與人體接觸可引起化學灼傷。

　　這些危險有害因素的主要物質理化特性，以及化學危險品的貯存、使用的危險性分析詳見化學品庫單元.

　　2、設備設施的固有危險危害

　　生產設備多，且特種設備的種類、數量多。電氣設備有110kV和10kV變配電站的變壓器、配電柜、以及各廠房內用電設備及控制系統；特種設備有燃氣鍋爐、空壓設備、冷凍設備、壓力容器及多種氣瓶和廠內機動車輛；儲存設備有儲氣罐、液氮罐、液氬罐、貯油設備、硫酸罐、氫氧化鈉罐等。其主要危險因素有：

　　1）火災爆炸

　　油罐如本身缺陷或安全裝置失效或管理不善出現泄漏，遇明火可引發火災、爆炸危險。

　　鍋爐使用燃料是天然氣，天然氣為易燃易爆氣體，一旦出現泄漏遇明火可引發火災。當天然氣與空氣混合的濃度達到爆炸極限時遇點火源可引發爆炸危險。

　　2）物理爆炸

　　鍋爐、壓力容器（蒸發器、冷凝器、儲氣罐）設備、氣瓶等，如設備有缺陷或超壓安全附件失效或使用不當，可引發物理爆炸。

　　3）觸電危險

　　變配電設備、電氣線路、用電設備如產品質量不佳、絕緣性能不良或因運行不當、機械損傷、維修不善導致絕緣老化破損或設計、安裝不規范，安全凈距不足，或違章操作，均可能引發觸電危險。如出現短路、過載、接觸不良等，也可引發電氣火災危險。

　　4）靜電危害

　　如火災、爆炸危險環境內設備、管路防靜電設計或施工不規范，或在使用、輸送、貯存易燃易爆物質時所產生的靜電電荷不能及時消除，或使用有火花工具、穿用不防靜電的鞋、服裝而產生靜電火花，均可能引燃易燃易爆物質，造成火災、爆炸。

　　5）高空墜落危險

　　凡2m以上各類高空作業點位，其梯、臺、道、護欄等常規性防護措施不符合規范要求或損壞，可引發高空墜落危險。

　　6）車輛傷害

　　廠內各類運輸車輛如車輛本身缺陷，或制動、音響、燈光等失效，道路狀況不符合規定要求或誤操作可引發車輛傷害。

　　7）機械傷害

　　空壓站、冷凍站、水泵房、鍋爐房的旋轉、傳動設備如無防護罩或損壞，可引發機械傷害。

　　8）灼傷

　　高溫設備、蒸氣管路等表面，保溫、隔熱效果不好，易形成燙傷事故。各類使用激光源、紅外線光源的設備、機臺上，如因光源密閉性不好或損壞或操作不當，致使光源直射觀察者眼睛，將會造成眼灼傷。

　　9）噪聲危險

　　空壓設備、泵類、風機等設備在運轉時可產生噪聲危害。

　　生產工藝及危險化學品使用安全評價單元

　　支援車間危險化學品使用、儲存、安全措施情況如表5.2.1-3所示：

　　危險化學品使用、儲存及安全措施表       表5.2.1-3

　　序號  儲存場所名稱     儲存危險化學品名稱  　氣柜數量（個）    安全設施

　　1毒性氣

　　體室        砷化氫混合氣（AsH3/H2）        1        10%氦氣/氮氣工藝吹掃、TGM報警、消防水噴淋、排風、火災聲光報警、shut down 按鈕、勞動防護用品專柜、雙套管輸送，內套管為真空，設偵測器，介質泄漏時，報警。

　　                1.5%鍺烷/氫氣（GeH4/H2）        1       

　　                1%磷化氫/氮氣混合氣（PH3/N2）        1       

　　                5%磷化氫/氮氣混合氣（PH3/N2）        2       

　　2易燃氣體室        氨氣（NH3）        8        10%氦氣/氮氣工藝吹掃、TGM報警、氨、氟環境監測報警、消防水噴淋、排風（酸堿性排風系統分開）、火災聲光報警、shut down 按鈕、勞動防護用品專柜。

　　                一氧化碳（CO）        3       

　　                二氯硅烷（SiH2Cl2）        1       

　　                二氟甲烷（CH2F2）        1       

　　                50ppm乙硼烷/氫氣（B2H6/H2）        1       

　　                氟甲烷（CH3F）        2       

　　                100ppmB2H6/N2        1       

　　                5% B2H6/N2        2       

　　                100ppm乙硼烷/氫氣（B2H6/H2）        2       

　　                10%氨氣/氮氣        1       

　　                C4F6        1       

　　3腐蝕性氣體室        Cl2        2        10%氦氣/氮氣工藝吹掃、TGM報警、消防水噴淋(ClF3無)、排風、火災聲光報警、shut down 按鈕、勞動防護用品專柜。

　　                ClF3        2       

　　                HBr        2       

　　                HCl        11       

　　                SiF4        1       

　　4氧化氣體室        NF3        9        10%氦氣/氮氣工藝吹掃、TGM報警、消防水噴淋、酸性排風、火災聲光報警、shut down 按鈕、勞動防護用品專柜。

　　                N2O        7       

　　                30%O2/He        6       

　　5 惰性氣體室        1.2%He+N2        1        10%氦氣/氮氣工藝吹掃、TGM報警、消防水噴淋、排風、火災聲光報警、shut down 按鈕、勞動防護用品專柜。

　　                C4F8        2       

　　                CHF3        1       

　　                C2F6        1       

　　                CO2        1       

　　                CF4        2       

　　                CHF3        2       

　　                SF6        2       

　　                He        1       

　　                4%H2/N2        1       

　　6  酸室        HCl CDM        1        設排風系統、收集井、吸收棉、雙套管輸送、內設泄漏報警偵測器、PEH在線型火災聲光報警裝置，自動水噴淋裝置。

　　                BOE CDM        1       

　　                HF CDM        2       

　　                NOE CDM        1       

　　                HNO3 CDM        1       

　　                H3PO4 CDM        1       

　　                H2SO4 CDM        2       

　　                HF100:1 CDM        1       

　　7 Base Room

　　（堿室）        NH4OH        1        設排風系統、收集井、吸收棉、雙套管輸送內設泄漏報警偵測器，PEH在線型火災聲光報警裝置，自動水噴淋裝置、消防器材。

　　                H2O2        2       

　　                SD-1        1       

　　8溶劑室        ACT940 CDM        1        設溶劑排風系統、收集井、吸收棉、雙套管輸送、內設泄漏報警偵測器、PEH在線型火災聲光報警裝置，自動水噴淋裝置、消防器材。

　　                EG-01        1       

　　                EBR10A        1       

　　                1PA-01CDM        1       

　　危險危害辨識與分析

　　1、火災、爆炸

　　各類易燃液體、易燃氣體在生產、儲存、輸送過程中，一旦因設備材質缺陷、制造質量差、機械損傷等原因致使設備密封效果不好、包裝容器破損以及人員誤操作，造成物料泄漏，如作業現場通風不良，與空氣混和達到爆炸極限，遇有火源可能發生火災、爆炸；

　　2、腐蝕、中毒、化學灼傷

　　清洗、擴散、光刻、蝕刻等生產區、酸室、Base room、堿室、溶劑室等腐蝕性化學品生產、儲存、使用場所內，盛裝酸、堿性腐蝕品磷酸、鹽酸等設備、容器以及輸送管路因材質缺陷，制造質量差，搬運、使用過程機械損壞、傾翻，造成物料泄漏，如人體接觸泄露的酸、堿性物質將會引起嚴重的化學灼傷；同時各類腐蝕性氣體、毒性氣體因盛裝氣瓶、輸送管路、使用設備腐蝕、制造缺陷等原因造成泄漏，人接觸或吸入有毒、腐蝕性氣體，均會造成人員中毒。

　　3、物理爆炸

　　各類壓力容器（包括氣瓶）、管道，如果設備、管道因材質缺陷、設計不合理、制造焊接質量差、腐蝕等使其強度降低以及安全閥、壓力表等附件失靈等，可能發生容器、管道不能承受設計壓力而發生爆炸，造成人員傷亡，設備損壞。

　　4、高溫灼傷

　　高溫設備、蒸氣管路等表面，保溫、隔熱效果不好，易形成燙傷事故。

　　5、激光、紅外線輻射灼傷

　　在各類使用激光源、紅外線光源的設備、機臺上，如因光源密閉性不好或損壞或操作不當，致使光源直射觀察者眼睛，將會造成眼灼傷。

　　6、高頻、噪聲傷害

　　在離子植入區，使用離子植入機等高頻設備；清洗、光刻、蝕刻區使用各類清洗機、蝕刻機、微影機等產生噪聲的設備，如上述各類設備高頻、噪聲防護措施不當或損壞都會對人員造成物理因素傷害。

　　7、高處墜落

　　當去廢溶劑儲罐等相對基準面標高超過2m設備進行檢查、操作或維修設備時，若未按標準設置鋼梯、護欄、平臺或設置不完善，作業人員去檢查、操作或檢修時，稍不慎會發生高處墜落事故。

　　8、觸電

　　各類用電設備、照明、配電系統線路保護接零未接或失效，線路絕緣損壞、線路短路等均可能發生觸電事故。

　　9、電氣火災

　　電氣設備、配電系統未按規定裝設漏電保護器、過電壓保護等裝置或失效，線路絕緣損壞、短路，以及防爆場所電氣設備、線路、照明不符合防爆要求等均會發生電氣火災。

　　10、雷電危害

　　建筑物防雷設計不合理、施工不規范、接地電阻值不符合規范要求，當雷擊建筑物、電力設備、線路等時，會產生雷電過電壓，在雷電波及的范圍內會導致嚴重損壞建筑物、設備并可能危及人身安全。雷電火花還可能引發易燃易爆物質的火災、爆炸，造成嚴重的生命、財產損失。

　　11、靜電危害

　　如火災、爆炸危險環境內（如：光刻、清洗區、擴散區、可燃氣體儲藏間等）設備、管路防靜電設計或施工不規范，在使用、輸送、貯存易燃易爆物質時所產生的靜電電荷，不能及時消除，隨著時間延續，靜電荷將越聚越多，靜電電壓逐漸升高，當達到一定程度時，發生放電火花；或使用有火花工具、穿用不防靜電的鞋、服裝而產生靜電火花等，均可能引燃易燃易爆物質，造成火災、爆炸。