1、物質的危險危害
　　
　　芯片生產過程中，使用多種化學物品，廠區內設有儲存這些化學物品的化學品庫，化學品種類達80種。按照GB13690-92《常用危險化學品的分類及標志》規定中對常用危險化學品，按其主要危險特性進行分類，該項目中使用的危險化學品有壓縮氣體和液化氣體，易燃液體、氧化劑、有毒品、腐蝕品等類別，這些物質的主要危險危害為：
　　
　　1）有毒有害氣體（如AsH3、PH3、SiH4、CO等）如泄漏與空氣混合遇明火易燃爆，有的可在空氣中自燃，有的可致人中毒、凍傷、窒息、直至死亡。
　　
　　2）易燃液體（如丙酮、異丙醇等）如泄漏、揮發與空氣混合形成爆炸氣體遇明火、熱源可引發火災爆炸。
　　
　　3）氧化劑（如過氧化氫等）如泄漏與有機物還原劑、易燃物接觸可引起火災爆炸。
　　
　　4）腐蝕品（如酸類、堿類等）如泄漏與人體接觸可引起化學灼傷。
　　
　　這些危險有害因素的主要物質理化特性，以及化學危險品的貯存、使用的危險性分析詳見化學品庫單元.
　　
　　2、設備設施的固有危險危害
　　
　　生產設備多，且特種設備的種類、數量多。電氣設備有110kV和10kV變配電站的變壓器、配電柜、以及各廠房內用電設備及控制系統；特種設備有燃氣鍋爐、空壓設備、冷凍設備、壓力容器及多種氣瓶和廠內機動車輛；儲存設備有儲氣罐、液氮罐、液氬罐、貯油設備、硫酸罐、氫氧化鈉罐等。其主要危險因素有：
　　
　　1）火災爆炸
　　
　　油罐如本身缺陷或安全裝置失效或管理不善出現泄漏，遇明火可引發火災、爆炸危險。
　　
　　鍋爐使用燃料是天然氣，天然氣為易燃易爆氣體，一旦出現泄漏遇明火可引發火災。當天然氣與空氣混合的濃度達到爆炸極限時遇點火源可引發爆炸危險。
　　
　　2）物理爆炸
　　
　　鍋爐、壓力容器（蒸發器、冷凝器、儲氣罐）設備、氣瓶等，如設備有缺陷或超壓安全附件失效或使用不當，可引發物理爆炸。3）觸電危險
　　
　　變配電設備、電氣線路、用電設備如產品質量不佳、絕緣性能不良或因運行不當、機械損傷、維修不善導致絕緣老化破損或設計、安裝不規范，安全凈距不足，或違章操作，均可能引發觸電危險。如出現短路、過載、接觸不良等，也可引發電氣火災危險。
　　
　　4）靜電危害
　　
　　如火災、爆炸危險環境內設備、管路防靜電設計或施工不規范，或在使用、輸送、貯存易燃易爆物質時所產生的靜電電荷不能及時消除，或使用有火花工具、穿用不防靜電的鞋、服裝而產生靜電火花，均可能引燃易燃易爆物質，造成火災、爆炸。
　　
　　5）高空墜落危險
　　
　　凡2m以上各類高空作業點位，其梯、臺、道、護欄等常規性防護措施不符合規范要求或損壞，可引發高空墜落危險。
　　
　　6）車輛傷害
　　
　　廠內各類運輸車輛如車輛本身缺陷，或制動、音響、燈光等失效，道路狀況不符合規定要求或誤操作可引發車輛傷害。
　　
　　7）機械傷害
　　
　　空壓站、冷凍站、水泵房、鍋爐房的旋轉、傳動設備如無防護罩或損壞，可引發機械傷害。
　　
　　8）灼傷
　　
　　高溫設備、蒸氣管路等表面，保溫、隔熱效果不好，易形成燙傷事故。各類使用激光源、紅外線光源的設備、機臺上，如因光源密閉性不好或損壞或操作不當，致使光源直射觀察者眼睛，將會造成眼灼傷。
　　
　　9）噪聲危險
　　
　　空壓設備、泵類、風機等設備在運轉時可產生噪聲危害。